X射线光电子能谱技术（XPS）是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，以X射线为激发光源的光电子能谱，简称XPS或ESCA。XPS不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。 X射线光子的能量在1