硅电容压力传感器特性评价_深圳沧正传感仪器有限公司

网友收藏2023-11-14 14:55

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硅电容压力传感器是以硅材料为基础，采用电容原理，即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化，由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特性评价如下：

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