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压阻式压力传感器和压电式压力传感器_深圳沧正传感仪器有限公司

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压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺。压电式压力传感器大多是利用正压电效应制成的。压电式压力传感