电容式压力传感器的特点_深圳沧正传感仪器有限公司

网友收藏2024-01-22 10:48

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电容压力传感器是以硅材料为基础，采用电容原理，即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化，由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特点如下：

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