蒸气流真空泵是一种用蒸气流作为抽气介质来获得真空的设备。它包括蒸气喷射泵、蒸气增压泵、蒸气扩散泵、真空发生器等。抽气机理都是高速运动的蒸气流与被抽气体混合进行能量交换而实现抽气作用。