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质谱测量_分压测量_残余气体分析_四极质谱计_真空技术网

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在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。