无尘车间应有比较完善的消防设施。洁净室和技术管道层均应设置火灾报警装置和自动灭火设施。根据工艺生产的特点和要求、可燃物质的种类及其数量、建筑的耐火等级等因素来配备必需的灭火器材。有贵重、高精密仪器仪表和电气设备的洁净室，应置备二氧化碳、卤代烷或喷水灭火装置。洁净厂房的火灾危险性应按照《建筑设计防